金力泰合資公司超微弧氧化技術(shù)可用于光刻機(jī)設(shè)備零部件處理

5月26日,金力泰(300225)在投資者互動(dòng)平臺(tái)回復(fù)稱國產(chǎn)光刻膠龍頭企業(yè)杜爾考特是上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司的合格供應(yīng)商,超微弧氧化技術(shù)可應(yīng)用于光刻機(jī)設(shè)備零部件的表面處理與其他半導(dǎo)體芯片集成電路的表面處理上。公司的合資公司上海金杜新材料科技有限公司近日完成了工商注冊手續(xù),目前暫未產(chǎn)生營業(yè)收入。

據(jù)介紹,超微弧氧化技術(shù)是一種鋁、鎂和鈦合金表面納米陶瓷功能化膜制備技術(shù),包括超耐蝕性、超耐磨性、抗力學(xué)沖擊以及上述指標(biāo)優(yōu)化兼容綜合防護(hù)膜的工業(yè)化加工技術(shù),可應(yīng)用于光刻機(jī)所使用的鋁合金黑色光學(xué)工藝,亦可廣泛應(yīng)用于其他半導(dǎo)體芯片集成電路領(lǐng)域。

此前,美方加大對(duì)華為限制,限制晶圓廠采用美國設(shè)備為華為代工。雖然國內(nèi)設(shè)備龍頭在刻蝕機(jī)、PVD等領(lǐng)域已有長足進(jìn)展,但部分產(chǎn)品如光刻機(jī)仍待突破,目前在12寸線上還難以形成全套供應(yīng)體系,已經(jīng)成為自主可控待突破的最重要一環(huán)。

產(chǎn)業(yè)鏈人士認(rèn)為,本次美方禁令會(huì)進(jìn)一步倒逼晶圓廠加大對(duì)國產(chǎn)設(shè)備材料供應(yīng)鏈的扶持力度,加速設(shè)備材料龍頭的國產(chǎn)替代進(jìn)程。金力泰(300225)與國產(chǎn)光刻膠龍頭企業(yè)杜爾考特合資企業(yè)的上海金杜新材料科技有限公司核心技術(shù)為超微弧氧化技術(shù),公司表示未來會(huì)深入研究超微弧氧化技術(shù),并積極探索該技術(shù)未來的應(yīng)用領(lǐng)域,加快光刻機(jī)領(lǐng)域國產(chǎn)替代步伐。