凱美特氣：打破芯片制造用氣“卡脖子”現(xiàn)狀，多種電子特氣已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

新華財(cái)經(jīng)長沙6月2日電（記者余蕊 陳宇簫 呂光一）電子特種氣體被比喻為半導(dǎo)體的“血液”，是制造芯片的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。電子特氣對(duì)純度的要求非常高，包括氪氣、氙氣、氬氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳等上百種稀有氣體。中國電子特氣八成以上依賴進(jìn)口，用于制造芯片的高端電子特氣更是幾乎全部依賴進(jìn)口，成為“卡脖子”關(guān)鍵領(lǐng)域。近年來，湖南凱美特氣體股份有限公司（以下簡稱“凱美特氣”）在電子特氣領(lǐng)域取得突破性進(jìn)展，記者近日采訪了其董事長祝恩福。

電子特氣成為“卡脖子”關(guān)鍵領(lǐng)域

據(jù)了解，半導(dǎo)體制造過程中的刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等環(huán)節(jié)要使用大量的電子氣體，并且電子氣體的純度對(duì)芯片質(zhì)量影響很大。隨著集成電路工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮小，已經(jīng)達(dá)到10納米、7納米，芯片制造對(duì)所用氣體的顆粒度和雜質(zhì)含量的要求也越來越高。

除了制造芯片，電子特氣還可以應(yīng)用到柔性屏生產(chǎn)、肺部顯影、衛(wèi)星離子發(fā)射等多個(gè)領(lǐng)域。

中泰證券等多家機(jī)構(gòu)研究認(rèn)為，電子特氣行業(yè)具有較高的進(jìn)入壁壘，美國空氣化工、德國林德集團(tuán)、法國液化空氣和大陽日酸等四大公司控制著全球90%以上的市場(chǎng)份額。國內(nèi)市場(chǎng)更是如此，八成以上的電子特氣依賴進(jìn)口，高端的電子特氣幾乎全部依賴進(jìn)口，如離子注入氣、光刻激光氣等。

凱美特氣突破電子特氣關(guān)鍵技術(shù) 已能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

凱美特氣是一家以石油石化企業(yè)排放的尾氣（廢氣）、火炬氣為原料，將其中有價(jià)值的成分進(jìn)行分離、提純、回收循環(huán)利用的上市公司，是可口可樂、百事可樂中國區(qū)最大的高純二氧化碳供應(yīng)商。

2018年，凱美特氣投資2億多元，建設(shè)電子特種氣體項(xiàng)目并將研發(fā)成果產(chǎn)業(yè)化，與香港一家公司合資成立岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司（以下簡稱“凱美特電子特氣”），凱美特氣控股97%。

“目前芯片制造所用的電子特氣100%依靠進(jìn)口，‘卡脖子’的問題必須要解決，我們?cè)跉怏w行業(yè)深耕了20多年，想為國家做點(diǎn)事情?！眲P美特氣董事長祝恩福說，“我們將二氧化碳產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行延伸，突破電子特氣國產(chǎn)化的技術(shù)瓶頸，成功研發(fā)出電子特氣提純技術(shù)等多項(xiàng)核心技術(shù)，生產(chǎn)出電子級(jí)氣體產(chǎn)品?！?/span>

祝恩福介紹，凱美特電子特氣目前已成功本地化生產(chǎn)出電子級(jí)的99.999%高純氙氣、99.9995%超高純航空氙氣、99.9999%超高純氬氣、99.999%高純氪氣、99.9999%高純氦氣、99.9999%高純氮、99.9999%高純氫、99.999%高純一氧化碳、99.99996%電子級(jí)二氧化碳，以及準(zhǔn)分子激光含氟混合氣，HCl混合氣體等等。

“這些特種氣體都能夠?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)。我們?cè)?021年年初落實(shí)了9萬空分的稀有氣體項(xiàng)目，預(yù)計(jì)2022年年底可以具備每年200標(biāo)方氙氣、2000標(biāo)方氪氣、6萬標(biāo)方氖氣，以及1.5萬標(biāo)方氦氣的生產(chǎn)能力?！弊６鞲Ｕf，現(xiàn)階段凱美特電子特種稀有氣體的生產(chǎn)能力已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)近1個(gè)億的產(chǎn)值。

凱美特氣實(shí)現(xiàn)電子特氣生產(chǎn)全流程自主可控 已獲得液化空氣認(rèn)證

祝恩福介紹，電子特氣對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境和包裝等的要求很高?！袄绯溲b電子特氣的氣瓶，要求特別干凈。國內(nèi)的氣瓶生產(chǎn)商達(dá)不到我們的指標(biāo)要求。我們不得不花1000萬元從國外進(jìn)口清洗氣瓶的生產(chǎn)線，確保了電子特氣的高純度?！弊６鞲Ｕf。

如今的凱美特電子特氣已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了氟氣、氯化氫等稀有原料氣自主可控，包裝氣瓶處理自主可控，提純充裝的生產(chǎn)過程自主可控，并且擁有電子特氣分析檢驗(yàn)、氣瓶檢測(cè)的能力。全流程的自主可控，為穩(wěn)定生產(chǎn)提供了保障。

電子特氣屬于危險(xiǎn)化學(xué)品工業(yè)氣體，生產(chǎn)過程有著嚴(yán)格的管理規(guī)范。2020年底，凱美特電子特氣拿到了全套生產(chǎn)資質(zhì)，包括安全生產(chǎn)許可證、全國工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)許可證、氣瓶充裝許可證、移動(dòng)式壓力容器充裝許可證、質(zhì)量管理體系認(rèn)證證書、環(huán)境管理體系認(rèn)證證書、職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證證書等。

盡管獲得了上述生產(chǎn)資質(zhì)，凱美特電子特氣具備了生產(chǎn)的前提并擁有量產(chǎn)的能力，但打破國外對(duì)電子特氣的長期壟斷，實(shí)現(xiàn)電子特氣“中國造”，需要市場(chǎng)的接納和認(rèn)可。而走向市場(chǎng)的重要一步，是獲得半導(dǎo)體行業(yè)巨頭的認(rèn)證。

凱美特氣今年2月3日發(fā)布公告，稱凱美特電子特氣已收到液化空氣（上海）供應(yīng)商審核結(jié)論通告，生產(chǎn)的高純度氪、氙、二氧化碳得到液化空氣的認(rèn)證。

法國液化空氣集團(tuán)，是世界上最大的工業(yè)氣體和醫(yī)療氣體以及相關(guān)服務(wù)的供應(yīng)商之一。隨后，凱美特電子特氣生產(chǎn)的電子特氣開始正式銷售，如今99.999%高純度氪氣已簽署三單合同，銷售額近1000萬元。

凱美特氣瞄準(zhǔn)的，是全球最大的光刻機(jī)制造商，荷蘭阿斯麥的認(rèn)證?！霸讷@得阿斯麥認(rèn)證之前，必須先獲得德國相干公司的認(rèn)證，相干公司是全球領(lǐng)先的激光技術(shù)供應(yīng)商?，F(xiàn)在情況還是比較順利的，樣氣已經(jīng)到香港，還有幾天可以到德國開始認(rèn)證。我對(duì)我們的產(chǎn)品質(zhì)量很有信心?！弊６鞲Ｕf，“我相信未來，在電子特氣行業(yè)我們會(huì)做得很好?！?/span>